TY - JOUR AU - Wu, C. AU - Crouch, C. H. AU - Zhao, L. AU - Carey, J. E. AU - Younkin, R. AU - Levinson, J. A. AU - Mazur, E. PY - 2001 DA - 2001// TI - Near-unity below-band-gap absorption by microstructured silicon JO - Appl Phys Lett VL - 78 UR - https://doi.org/10.1063/1.1358846 DO - 10.1063/1.1358846 ID - Wu2001 ER - TY - JOUR AU - Jansen, H. AU - Boer, M. AU - Burger, J. AU - Legtenberg, R. AU - Elwenspoek, M. PY - 1995 DA - 1995// TI - The black silicon method II: the effect of mask material and loading on the reactive ion etching of deep silicon trenches JO - Microelectron Eng VL - 27 UR - https://doi.org/10.1016/0167-9317(94)00149-O DO - 10.1016/0167-9317(94)00149-O ID - Jansen1995 ER - TY - JOUR AU - Serpengüzel, A. AU - Kurt, A. AU - Inanç, I. AU - Cary, J. E. AU - Mazur, E. PY - 2008 DA - 2008// TI - Luminescence of black silicon JO - J of Nanophotonics VL - 2 UR - https://doi.org/10.1117/1.2896069 DO - 10.1117/1.2896069 ID - Serpengüzel2008 ER - TY - JOUR AU - Her, T. H. AU - Finlay, R. J. AU - Wu, C. AU - Deliwala, S. AU - Mazur, E. PY - 1998 DA - 1998// TI - Microstructuring of silicon with femtosecond laser pulses JO - Appl Phys Lett VL - 73 UR - https://doi.org/10.1063/1.122241 DO - 10.1063/1.122241 ID - Her1998 ER - TY - JOUR AU - Myers, R. A. AU - Farrell, R. AU - Karger, A. M. AU - Carey, J. E. AU - Mazur, E. PY - 2006 DA - 2006// TI - Enhancing near-infrared avalanche photodiode performance by femtosecond laser microstructuring JO - Appl Opt VL - 45 UR - https://doi.org/10.1364/AO.45.008825 DO - 10.1364/AO.45.008825 ID - Myers2006 ER - TY - JOUR AU - Koynov, S. AU - Brandt, M. S. AU - Stutzmann, M. PY - 2011 DA - 2011// TI - Black thin film silicon JO - J Appl Phys VL - 110 UR - https://doi.org/10.1063/1.3626900 DO - 10.1063/1.3626900 ID - Koynov2011 ER - TY - JOUR AU - Yu, P. AU - Wu, J. AU - Liu, S. AU - Xiong, J. AU - Jagadish, C. AU - Wang, Z. M. PY - 2016 DA - 2016// TI - Design and fabrication of silicon nanowires towards efficient solar cells JO - Nano Today VL - 11 UR - https://doi.org/10.1016/j.nantod.2016.10.001 DO - 10.1016/j.nantod.2016.10.001 ID - Yu2016 ER - TY - JOUR AU - Branz, H. M. AU - Yost, V. E. AU - Ward, S. AU - Jones, K. M. AU - Stradins, P. PY - 2009 DA - 2009// TI - Nanostructured black silicon and the optical reflectance of graded-density surfaces JO - Appl Phys Lett VL - 94 UR - https://doi.org/10.1063/1.3152244 DO - 10.1063/1.3152244 ID - Branz2009 ER - TY - JOUR AU - Tull, B. R. AU - Winkler, M. T. AU - Mazur, E. PY - 2009 DA - 2009// TI - The role of diffusion in broadband infrared absorption in chalcogen-doped silicon JO - Appl Phys A Mater Sci Process VL - 96 UR - https://doi.org/10.1007/s00339-009-5200-8 DO - 10.1007/s00339-009-5200-8 ID - Tull2009 ER - TY - JOUR AU - Crouch, C. H. AU - Carey, J. E. AU - Shen, M. AU - Mazur, E. PY - 2004 DA - 2004// TI - Infrared absorption by sulfur-doped silicon formed by femtosecond laser irradiation Genin F Y JO - Appl Phys A Mater Sci Process VL - 79 UR - https://doi.org/10.1007/s00339-004-2676-0 DO - 10.1007/s00339-004-2676-0 ID - Crouch2004 ER - TY - JOUR AU - Carey, J. E. AU - Crouch, C. H. AU - Shen, M. AU - Mazur, E. PY - 2005 DA - 2005// TI - Visible and near-infrared responsivity of femtosecond-laser microstructured silicon photodiodes JO - Opt Lett VL - 30 UR - https://doi.org/10.1364/OL.30.001773 DO - 10.1364/OL.30.001773 ID - Carey2005 ER - TY - JOUR AU - Torres, R. AU - Itina, T. E. AU - Vervisch, V. AU - Halbwax, M. AU - Derrien, T. AU - Sarnet, T. AU - Sentis, M. AU - Ferreira, J. AU - Torregrosa, F. AU - Roux, L. PY - 2010 DA - 2010// TI - Study on laser-induced periodic structures and photovoltaic application JO - AIP Conference Proceedings AIP VL - 1278 UR - https://doi.org/10.1063/1.3507149 DO - 10.1063/1.3507149 ID - Torres2010 ER - TY - JOUR AU - Aoife, M. AU - Moloney, L. W. AU - Mathewson, A. AU - Healy, G. AU - Carlton Jackson, J. PY - 2006 DA - 2006// TI - Study of the properties of new SPM detectors. Semiconductor photodetectors III JO - International Society for Optics and Photonics VL - 6119 ID - Aoife2006 ER - TY - JOUR AU - Agarwal, P. AU - Vijayaraghavan, M. N. AU - Neuilly, F. AU - Hijzen, E. AU - Hurkx, G. A. M. PY - 2007 DA - 2007// TI - Breakdown enhancement in silicon nanowire pn junctions JO - Nano Lett VL - 7 UR - https://doi.org/10.1021/nl062681n DO - 10.1021/nl062681n ID - Agarwal2007 ER - TY - JOUR AU - Zhang, S. K. AU - Ahmar, H. AU - Chen, B. AU - Wang, W. AU - Alfano, R. PY - 2011 DA - 2011// TI - Photocurrent spectrum measurements of doped black silicon JO - In Proc of SPIE VL - 7934 UR - https://doi.org/10.1117/12.874368 DO - 10.1117/12.874368 ID - Zhang2011 ER - TY - JOUR AU - Carey, J. E. AU - Mazur, E. PY - 2004 DA - 2004// TI - High sensitivity silicon-based VIS/NIR photodetectors JO - In Lasers and Electro-Optics, 2004 (CLEO) Conference on VL - 2 ID - Carey2004 ER - TY - JOUR AU - Huang, Z. AU - Carey, J. E. AU - Liu, M. AU - Guo, X. AU - Mazur, E. AU - Campbell, J. C. PY - 2006 DA - 2006// TI - Microstructured silicon photodetector JO - Appl Phys Lett VL - 89 UR - https://doi.org/10.1063/1.2227629 DO - 10.1063/1.2227629 ID - Huang2006 ER - TY - JOUR AU - Zhao, Y. AU - Lai, J. AU - Zhou, H. AU - Yi, X. PY - 2004 DA - 2004// TI - Fabrication of anisotropic structures with large aspect ratio and minimal roughness by using black silicon method JO - In Proc of SPIE Vol VL - 5641 ID - Zhao2004 ER - TY - STD TI - Pralle M U, Carey J E, Homayoon H, Alie S, Sickler J, Li X, Jiang J, Miller D, Palsule C, McKee, J. (2010, April). Black silicon enhanced photodetectors: a path to IR CMOS. In proc SPIE 2010; 7660: 76600N ID - ref19 ER - TY - JOUR AU - Tanner, M. G. AU - Natarajan, C. M. AU - Pottapenjara, V. K. AU - O’Connor, J. A. AU - Warburton, R. J. AU - Hadfield, R. H. AU - Baek, B. AU - Nam, S. AU - Dorenbos, S. N. AU - Bermúdez Ureña, E. AU - Zijlstra, T. AU - Klapwijk, T. M. AU - Zwiller, V. AU - Zijlstra, T. PY - 2010 DA - 2010// TI - Enhanced telecom wavelength single-photon detection with NbTiN superconducting nanowires on oxidized silicon JO - Appl Phys Lett VL - 96 UR - https://doi.org/10.1063/1.3428960 DO - 10.1063/1.3428960 ID - Tanner2010 ER - TY - JOUR AU - Halbwax, M. AU - Sarnet, T. AU - Delaporte, P. AU - Sentis, M. AU - Etienne, H. AU - Torregrosa, F. AU - Vervisch, V. AU - Perichaud, I. AU - Martinuzzi, S. PY - 2008 DA - 2008// TI - Micro and nano-structuration of silicon by femtosecond laser: application to silicon photovoltaic cells fabrication JO - Thin Solid Films VL - 516 UR - https://doi.org/10.1016/j.tsf.2007.12.117 DO - 10.1016/j.tsf.2007.12.117 ID - Halbwax2008 ER - TY - JOUR AU - Zhang, T. AU - Ahmad, W. AU - Liu, B. AU - Xuan, Y. AU - Ying, X. AU - Liu, Z. AU - Li, Y. AU - Chen, Z. AU - Li, S. PY - 2017 DA - 2017// TI - Broadband infrared response of sulfur hyperdoped silicon under femtosecond laser irradiation JO - Mater Lett VL - 196 UR - https://doi.org/10.1016/j.matlet.2017.03.011 DO - 10.1016/j.matlet.2017.03.011 ID - Zhang2017 ER - TY - JOUR AU - Zhang, T. AU - Liu, B. AU - Ahmad, W. AU - Xuan, Y. AU - Ying, X. AU - Liu, Z. AU - Chen, Z. AU - Li, S. PY - 2017 DA - 2017// TI - Optical and electronic properties of femtosecond laser-induced sulfur-hyperdoped silicon N+/P photodiodes JO - Nanoscale Res Lett VL - 12 UR - https://doi.org/10.1186/s11671-017-2287-2 DO - 10.1186/s11671-017-2287-2 ID - Zhang2017 ER - TY - STD TI - Yuan HC, Yost VE, Page MR, Roybal L, To B, Stradins P, Meier DL, Branz HM (2009) Efficient black silicon solar cells with nanoporous anti-reflection made in a single-step liquid etch. In Photovoltaic Specialists Conference (PVSC), 34th IEEE:000141–000145 ID - ref24 ER - TY - JOUR AU - Yuan, H. C. AU - Yost, V. E. AU - Page, M. R. AU - Stradins, P. AU - Meier, D. L. AU - Branz, H. M. PY - 2009 DA - 2009// TI - Efficient black silicon solar cell with a density-graded nanoporous surface: optical properties, performance limitations, and design rules JO - Appl Phys Lett VL - 95 UR - https://doi.org/10.1063/1.3231438 DO - 10.1063/1.3231438 ID - Yuan2009 ER - TY - JOUR AU - Srivastava, S. K. AU - Kumar, D. AU - Singh, P. K. AU - Kumar, V. PY - 2009 DA - 2009// TI - Silicon nanowire arrays based “black silicon” solar cells JO - In Photovoltaic Specialists Conference (PVSC) VL - 34th IEEE ID - Srivastava2009 ER - TY - JOUR AU - Sarnet, T. AU - Halbwax, M. AU - Torres, R. AU - Delaporte, P. AU - Sentis, M. AU - Martinuzzi, S. AU - Vervisch, V. AU - Bastide, S. PY - 2008 DA - 2008// TI - Femtosecond laser for black silicon and photovoltaic cells JO - In Proc SPIE VL - 6881 UR - https://doi.org/10.1117/12.768516 DO - 10.1117/12.768516 ID - Sarnet2008 ER - TY - JOUR AU - Hu, L. AU - Chen, G. PY - 2007 DA - 2007// TI - Analysis of optical absorption in silicon nanowire arrays for photovoltaic applications JO - Nano Lett VL - 7 UR - https://doi.org/10.1021/nl071018b DO - 10.1021/nl071018b ID - Hu2007 ER - TY - JOUR AU - Wang, W. AU - Wu, S. AU - Reinhardt, K. AU - Lu, Y. AU - Chen, S. PY - 2010 DA - 2010// TI - Broadband light absorption enhancement in thin-film silicon solar cells JO - Nano Lett VL - 10 UR - https://doi.org/10.1021/nl904057p DO - 10.1021/nl904057p ID - Wang2010 ER - TY - JOUR AU - Garnett, E. AU - Yang, P. PY - 2010 DA - 2010// TI - Light trapping in silicon nanowire solar cells JO - Nano Lett VL - 10 UR - https://doi.org/10.1021/nl100161z DO - 10.1021/nl100161z ID - Garnett2010 ER - TY - STD TI - Yan Y, Yuan HC, Yost VE, Jones K, Al-Jassim M, Branz HM (2010) Microstructure and surface chemistry of nanoporous “black silicon” for photovoltaics. Photovoltaic Specialists Conference (PVSC), 2010 35th IEEE IEEE:002255–002257 ID - ref31 ER - TY - JOUR AU - Toor, F. AU - Branz, H. M. AU - Page, M. AU - Jones, K. M. AU - Yuan, H. C. PY - 2011 DA - 2011// TI - Multi-scale surface texture to improve blue response of nanoporous black silicon solar cells JO - Appl Phys Lett VL - 99 UR - https://doi.org/10.1063/1.3636105 DO - 10.1063/1.3636105 ID - Toor2011 ER - TY - JOUR AU - Flory, F. AU - Escoubas, L. AU - Berginc, G. PY - 2011 DA - 2011// TI - Optical properties of nanostructured materials: a review JO - J Nanophotonics VL - 5 UR - https://doi.org/10.1117/1.3609266 DO - 10.1117/1.3609266 ID - Flory2011 ER - TY - JOUR AU - Scotti, G. AU - Kanninen, P. AU - Maakinen, M. AU - Kallio, T. AU - Franssila, S. PY - 2010 DA - 2010// TI - Silicon nanograss as micro fuel cell gas diffusion layer JO - Micro Nano Lett VL - 5 UR - https://doi.org/10.1049/mnl.2010.0122 DO - 10.1049/mnl.2010.0122 ID - Scotti2010 ER - TY - STD TI - Crouch CH, Mazur E, Carey JE (2003) Femtosecond-Laser-Assisted Microstructuring of Silicon Surfaces. Optics & Photonics News 14(2):32–36 ID - ref35 ER - TY - STD TI - Carey JE, Crouch CH, You R, Mazur E, Sheehy M (2001) Friend C. IEEE 75 555-556 ID - ref36 ER - TY - JOUR AU - Maloney, P. G. AU - Smith, P. AU - King, V. AU - Billman, C. AU - Winkler, M. AU - Mazur, E. PY - 2010 DA - 2010// TI - Emissivity of microstructured silicon JO - Appl Opt VL - 49 UR - https://doi.org/10.1364/AO.49.001065 DO - 10.1364/AO.49.001065 ID - Maloney2010 ER - TY - JOUR AU - Hoyer, P. AU - Theuer, M. AU - Beigang, R. AU - Kley, E. -. B. PY - 2008 DA - 2008// TI - Terahertz emission from black silicon JO - Appl Phys Lett VL - 93 UR - https://doi.org/10.1063/1.2978096 DO - 10.1063/1.2978096 ID - Hoyer2008 ER - TY - JOUR AU - Li, X. AU - Bohn, P. W. PY - 2000 DA - 2000// TI - Metal-assisted chemical etching in HF/H2O2 produces porous silicon JO - Appl Phys Lett VL - 77 UR - https://doi.org/10.1063/1.1319191 DO - 10.1063/1.1319191 ID - Li2000 ER - TY - JOUR AU - Kurumurthy, G. AU - Alee, K. S. AU - Rao, D. N. PY - 2009 DA - 2009// TI - Photoluminescence studies of Si/SiO2 nanoparticles synthesized with different laser irradiation wavelengths of nanosecond pulse duration JO - Opt Commun VL - 282 UR - https://doi.org/10.1016/j.optcom.2009.06.003 DO - 10.1016/j.optcom.2009.06.003 ID - Kurumurthy2009 ER - TY - JOUR AU - Hubner, J. AU - Anhøj, T. AU - Pedersen, S. AU - Zauner, D. A. AU - Jorgensen, A. M. AU - Blagoi, G. AU - Ivan, T. AU - Hansen, O. PY - 2008 DA - 2008// TI - Surface enhanced Raman spectroscopy on chip JO - Proc of SPIE VL - 6896 UR - https://doi.org/10.1117/12.761076 DO - 10.1117/12.761076 ID - Hubner2008 ER - TY - JOUR AU - Zorba, V. AU - Persano, L. AU - Pisignano, D. AU - Athanassiou, A. AU - Stratakis, E. AU - Cingolani, R. AU - Tzanetakis, P. AU - Fotakis, C. PY - 2006 DA - 2006// TI - Making silicon hydrophobic: wettability control by two-lengthscale simultaneous patterning with femtosecond laser irradiation JO - Nanotechnol VL - 17 UR - https://doi.org/10.1088/0957-4484/17/13/026 DO - 10.1088/0957-4484/17/13/026 ID - Zorba2006 ER - TY - JOUR AU - Cao, L. AU - Jones, A. K. AU - Sikka, V. K. AU - Wu, J. AU - Gao, D. PY - 2009 DA - 2009// TI - Anti-icing superhydrophobic coatings JO - Langmuir VL - 25 UR - https://doi.org/10.1021/la902882b DO - 10.1021/la902882b ID - Cao2009 ER - TY - JOUR AU - Zhu, J. AU - Hsu, C. M. AU - Yu, Z. AU - Fan, S. AU - Cui, Y. PY - 2010 DA - 2010// TI - Nanodome solar cells with efficient light management and self-cleaning JO - Nano Lett VL - 10 UR - https://doi.org/10.1021/nl9034237 DO - 10.1021/nl9034237 ID - Zhu2010 ER - TY - JOUR AU - Barthlott, W. AU - Neinhuis, C. PY - 1997 DA - 1997// TI - Purity of the sacred lotus, or escape from contamination in biological surfaces JO - Planta VL - 202 UR - https://doi.org/10.1007/s004250050096 DO - 10.1007/s004250050096 ID - Barthlott1997 ER -